真空離子鍍層組織致密，無針孔，無氣泡，厚度均勻。螺紋等零件也可以鍍膜。由于該工藝方法還可以修復工件表面的小裂紋和麻點，可以有效提高表面質量和物理機械性能。

真空離子鍍時，蒸發粒子以帶電離子的形式沿電力線的方向在電場中移動。因此，所有有電場的部分都可以獲得良好的鍍膜，這比普通真空鍍膜只能在直射方向上獲得的鍍膜要好得多。

因此，該方法非常適用于復合部件上的內孔、凹槽和窄縫。其他方法難以鍍的部件。普通真空鍍膜只能直接鍍在表面，蒸發粒子，如爬梯，只能上梯；真空離子鍍可以均勻地繞過零件的背面和內孔，帶電離子就像坐在直升機上，可以沿著規定的路線到達其活動半徑內的任何地方。

真空離子鍍利用高能離子轟擊工件表面，將大量電能轉化為熱能，促進表面組織的擴散和化學反應。然而，整個工件，特別是工件的心臟，并沒有受到高溫的影響。

因此，該鍍膜工藝應用廣泛，局限性小。通常，各種金屬、合金和一些合成材料、絕緣材料、熱敏材料和高熔點材料都可以鍍膜。也可鍍非金屬或金屬、甚至塑料、橡膠、石英、陶瓷等。

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